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序號
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代碼
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股票名稱
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說明
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| 1 | SH688072 | 拓荊科技-U | PECVD 系列產(chǎn)品、ALD 系列產(chǎn)品、SACVD 系列產(chǎn)品、HDPCVD 系列產(chǎn)品、Flowable CVD 系列產(chǎn)品和三維集成領(lǐng)域系列產(chǎn)品 |
| 2 | SH688726 | 拉普拉斯 | 硼擴散、磷擴散、氧化及退火設(shè)備、低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD）設(shè)備、等離子體增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備、原子層沉積（ALD）設(shè)備、原子層邊緣鈍化沉積（EPD）設(shè)備、電池間隙貼膜機、激光設(shè)備 |